무료 공정 계산기

측정한 숫자를 붙여 넣으면 게시판 글이 설명하는 공식을 나란히 계산합니다. 가입이 필요 없고, 값은 브라우저 밖으로 나가지 않습니다.

• 박막 두께 균일도 계산기두께 측정값을 붙여넣으면 half-range, range, sigma 균일도를 한 화면에서 바로 확인할 수 있습니다. 같은 데이터라도 공식에 따라 서로 다른 수치가 나오므로, 세 결과를 나란히 놓고 비교하는 것이 중요합니다.
• ALD GPC·공정 온도 윈도우 계산기막 두께와 cycle 수를 입력하면 GPC를 바로 구할 수 있고, 온도별 GPC 데이터를 입력하면 temperature window를 판별해 줍니다. 두 계산을 하나의 도구에서 수행하며, 모든 처리는 브라우저에서 이루어집니다.
• 식각 선택비 계산기Rate ratio와 consumption ratio selectivity를 한 화면에서 비교하고, 주어진 식각 깊이에 필요한 마스크 두께를 추정합니다. 아래에 데이터를 입력하면 브라우저에서 바로 계산됩니다.
• 단차 피복(스텝 커버리지) 계산기상부 표면, 측벽, 피처 바닥에서 측정한 막 두께를 입력하세요. 스텝 커버리지 비율, 종횡비, 최소 두께 기준 충족 여부를 바로 확인할 수 있습니다.