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박막 두께 균일도 계산기
두께 측정값을 붙여넣으면 half-range, range, sigma 균일도를 한 화면에서 바로 확인할 수 있습니다. 같은 데이터라도 공식에 따라 서로 다른 수치가 나오므로, 세 결과를 나란히 놓고 비교하는 것이 중요합니다.
단위는 자유, 모두 같은 단위로. 쉼표·공백·줄바꿈으로 구분합니다.
브라우저 안에서 계산합니다. 서버로 보내는 값은 없습니다.
어떻게 계산하나
쉼표, 공백 또는 줄바꿈으로 구분된 두께 값을 입력합니다. 단위는 자유롭지만 모든 값이 같은 단위여야 합니다. 최소 2개 이상의 측정점이 필요합니다.
입력된 데이터에서 개수(n), 평균, 최솟값, 최댓값, range(최댓값 − 최솟값)를 구한 뒤 세 가지 균일도 지표를 계산합니다. Half-range: (max − min) / (2 × mean) × 100 %, ± %로 표기합니다. Range: (max − min) / (max + min) × 100 %. Sigma: 1σ / mean × 100 %와 3σ / mean × 100 %, 여기서 1σ는 표본 표준편차(n − 1 자유도)입니다.
Range 기반 공식(half-range, range)은 극값 두 개에만 의존하므로 이상점 하나에 크게 흔들립니다. Sigma 기반 균일도는 전체 측정점을 사용하므로 분포 전체를 반영합니다.
같은 데이터에서 세 공식이 서로 다른 수치를 내므로, 결과를 보고할 때는 반드시 사용한 공식, 측정점 수와 배치 패턴, edge exclusion 여부, WIW(within-wafer)인지 WTW(wafer-to-wafer)인지를 함께 명시해야 합니다. 균일도(uniformity)와 비균일도(non-uniformity) 중 어느 쪽인지도 밝히십시오.
알고 쓰셔야 할 한계
- 여기서 사용하는 1σ는 표본 표준편차(n − 1)입니다. 일부 계측 장비는 모집단 표준편차(n)를 사용하며, 측정점이 적을수록 두 값의 차이가 커집니다.
- 이 계산기는 입력된 수치만 처리합니다. 측정 노이즈, 웨이퍼 방향, 데이터의 공간 패턴은 고려하지 않습니다.
자주 묻는 질문
- Half-range 균일도와 range 균일도의 차이는 무엇인가요?
- Half-range는 (max − min)을 평균의 2배로 나누어 ± %로 표기합니다. Range는 같은 (max − min)을 (max + min)으로 나눕니다. 같은 데이터에서도 약간 다른 수치가 나옵니다.
- 균일도와 비균일도 중 어느 것을 보고해야 하나요?
- 팹과 장비에 따라 관습이 다릅니다. 어떤 장비는 균일도(값이 얼마나 같은지)를, 어떤 장비는 비균일도(값이 얼마나 퍼져 있는지)를 출력합니다. 어느 쪽인지 항상 명시하십시오.
- Sigma 기반 균일도가 range 기반과 다른 이유는 무엇인가요?
- Sigma는 모든 측정점으로 표준편차를 구하고, range 기반 지표는 최댓값과 최솟값만 사용합니다. 이상점 하나가 range 기반 결과에는 크게 영향을 주지만 sigma에는 상대적으로 영향이 작습니다.
- 측정점이 최소 몇 개 필요한가요?
- 2개 이상이면 계산은 가능하지만 점이 많을수록 대표성이 높아집니다. 결과와 함께 측정점 수와 패턴을 반드시 보고하십시오.
공식 설명 글 읽기
숫자 하나가 아니라 맵이 필요하다면, Semi Process Lab 이 CVD 조건에서 300 mm 균일도 맵과 영향이 큰 변수를 함께 보여 줍니다.
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