기능 안내
쪽마다 무엇을 넣으면 화면에 무엇이 나오는지, 그 숫자가 어떻게 나오는지, 어디서부터 믿기 어려운지를 적었습니다. 내 공정 질문에 맞는지 1분 안에 판단하실 수 있게 했습니다.
ALD 박막 두께 예측
ALD 레시피 조건 — 온도, 펄스, 퍼지, 사이클 수 — 을 설정하면 GPC, 두께, 균일도, 밀도, 스텝 커버리지를 한 화면에서 확인할 수 있습니다.
트렌치·비아 단차 피복 예측
ALD·CVD·PVD 트렌치 및 비아의 종횡비별 스텝 커버리지를 예측합니다. 3D 프로파일, 핀치오프 경고, 안정 공정 영역 맵을 제공합니다.
CVD 박막 균일도 맵
CVD 또는 PECVD 조건을 입력하면 300 mm 웨이퍼 균일도 맵, 비균일도 등급, 기여도 분석, 변수 중요도 순위를 확인할 수 있습니다.
식각 프로파일 예측
단층 RIE·ALE 또는 DRAM·NAND·Logic 적층구조의 식각 깊이, 측벽 각도, 선택비, 보잉을 26개 프리셋으로 예측합니다.
내 데이터로 보정하기
실측 데이터를 CSV로 업로드하면 물리 모델이 내 장비에 맞게 보정됩니다. 보정 델타, 90 % 신뢰 구간, SPC 관리도를 제공합니다.
다음 레시피 추천받기
공정 목표를 설정하고 조절 가능한 변수를 지정하면 기대 개선량 순으로 정렬된 배치 레시피를 베이지안 최적화로 추천받을 수 있습니다.