CVD 박막 균일도 맵

쓰는 순서

1. 1공정 설계 탭을 열고 CVD 버튼을 클릭합니다(플라즈마 CVD는 가스 선택으로 지정합니다).
2. 2슬라이더로 온도, 압력, 전구체 유량, 반응 가스 유량, 증착 시간을 설정합니다.
3. 3예측을 실행하여 웨이퍼 맵과 균일도 등급을 생성합니다.
4. 4두께, 전구체 분율, 온도 탭을 전환하며 비균일도의 원인을 진단합니다.
5. 5기여도 패널과 중요도 패널을 확인하여 어떤 변수를 먼저 조정할지 판단합니다.

예측은 어떻게 나오나

웨이퍼 맵은 반경 방향 두께 프로파일로부터 생성됩니다. 모델은 입력 조건 — 주로 온도, 압력, 가스 유량 — 에 따라 위치별 증착 속도를 계산하고, 그 결과를 300 mm 웨이퍼 위에 동심원 두께 밴드로 렌더링합니다.

화면에는 두 가지 비균일도 지표가 나타나며, 측정 대상이 다릅니다. 웨이퍼 맵 캡션은 하프레인지 값 ±(max − min) / (2 × 평균) × 100을 표시합니다. 헤드라인 Uniformity 지표는 1σ 정의로 100에서 1σ 백분율을 뺀 값이므로 높을수록 좋습니다. 기여도 패널은 각 변수의 1σ 기여분을 < 2 % 목표 대비로 벤치마크합니다.

등급 기준은 캡션의 ± 하프레인지 값에 적용됩니다. 1 % 이하면 매우 균일, 1~2.5 %이면 개선 여지, 2.5 % 초과이면 비균일 큼입니다. 중요도 패널에서 지배적인 변수를 찾아 해당 슬라이더를 조정하면 등급이 개선되는지 확인할 수 있습니다.

알고 쓰셔야 할 한계

• 웨이퍼 맵은 반경 대칭(동심원 패턴)이며, 슬롯 밸브 비대칭이나 펌프 측 기울어짐 같은 방위각 패턴은 반영하지 않습니다.
• 전구체 분율 탭과 온도 탭은 입력 조건으로부터 단순화된 관계식으로 도출되며, 완전한 수송 계산에 기반하지 않습니다.
• 결과는 공정 방향을 비교하기 위한 설계 참고용 추정치이며, 장비의 실측 계측을 대체하지 않습니다.

자주 묻는 질문

두 가지 균일도 수치는 각각 무엇을 의미하나요?

맵 캡션의 ± 값은 하프레인지 지표로 (max − min) / (2 × 평균) × 100입니다. 헤드라인 Uniformity 수치는 100 − 1σ %로 높을수록 두께 편차가 작다는 뜻입니다. 기여도 패널은 1σ 백분율을 < 2 % 기준으로 벤치마크합니다.

웨이퍼 맵에서 좌우 비대칭이나 슬롯 쪽 패턴을 볼 수 있나요?

현재 맵은 반경 프로파일로부터 생성되어 동심원 형태만 표현합니다. 펌프 포트 기울어짐이나 가스 인렛 제트 같은 방위각 패턴은 포착하지 않습니다. 이러한 분석에는 실측 웨이퍼 계측 데이터가 필요합니다.

중요도 패널은 기여도 패널과 어떻게 다른가요?

기여도 패널은 각 변수가 전체 1σ 비균일도에서 차지하는 비율을 보여줍니다. 중요도 패널은 어떤 입력이 두께 편차에 가장 큰 레버리지를 갖는지 순위를 매겨, 균일도를 개선하기 위해 어떤 변수를 먼저 조정해야 하는지 판단하는 데 도움을 줍니다.

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