ALD 박막 두께 예측
이 레시피가 ALD 윈도우 안에 들어오는지, 두께는 얼마나 나올지 궁금하신가요? 공정 조건을 입력하면 GPC, 최종 두께, 균일도, 밀도, 굴절률, 스텝 커버리지를 한 화면에서 바로 확인할 수 있습니다.
무엇을 넣나
박막 재료 및 전구체 조합
42종의 박막 재료(예: Al₂O₃ — TMA/H₂O) 중 선택합니다. 재료마다 유효 온도 윈도우가 다르게 적용됩니다.
서셉터 온도
60~400 °C 범위로 조절할 수 있으며, 슬라이더에 선택한 박막의 문헌 ALD 윈도우가 표시됩니다(Al₂O₃의 경우 150~300 °C).
공정 압력
0.05~10 Torr, 기본값 1.0 Torr.
전구체 펄스 및 퍼지
전구체 펄스 0.02~2 s(기본값 0.1 s), 퍼지 0.5~30 s(기본값 5 s). 공반응물 펄스 0.02~2 s, 퍼지 2~60 s(기본값 8 s).
캐리어 N₂ 유량
20~1000 sccm, 기본값 200 sccm.
사이클 수
10~2000, 기본값 300.
RF 플라즈마 파워(PE-ALD)
50~1000 W. 플라즈마 공반응물을 선택하면 나타납니다.
무엇이 나오나
GPC
Å/cycle 단위의 사이클당 성장량입니다. 전구체와 공반응물의 표면 포화도에 의해 결정됩니다.
최종 두께
설정한 사이클 수에 대한 박막 두께를 nm 단위로 표시합니다(GPC × 사이클 수).
균일도
두께 균일도를 백분율로 표시하며, 2D 웨이퍼 맵을 함께 제공합니다.
AR 20:1 기준 스텝 커버리지
종횡비 20:1 고정 조건에서의 컨포멀리티 백분율입니다.
밀도 및 굴절률
밀도(g/cm³)와 632 nm 기준 굴절률을 표시합니다.
포화도 바
전구체·공반응물 포화 백분율과 기상(CVD 유사) 혼합 비율 바를 함께 표시합니다.
최적 조건 패널
선택한 박막의 추천 조건을 보여주며, 레시피가 ALD 윈도우를 벗어날 때 클릭 한 번으로 수정할 수 있는 링크를 제공합니다.
쓰는 순서
- 1공정 설계 탭을 열고 ALD 버튼을 클릭합니다.
- 2박막 재료를 선택한 뒤, 전구체와 공반응물 가스를 지정합니다.
- 3슬라이더로 온도, 압력, 펄스/퍼지 시간, 유량, 사이클 수를 설정합니다.
- 4예측 실행을 누릅니다 — 비회원은 계정 없이 실행할 수 있고, 로그인 회원은 1회에 10크레딧을 사용합니다.
- 5온도 윈도우 판정에서 응축이나 분해 경고가 뜨면, 제안된 수정 링크를 클릭하여 조건을 조정합니다.
예측은 어떻게 나오나
예측 두께는 GPC에 사이클 수를 곱한 값입니다. GPC 자체는 전구체와 공반응물 펄스가 표면을 얼마나 포화시키는지에 따라 결정되며, 모델은 펄스 시간, 퍼지 시간, 유량, 압력, 온도로부터 포화도를 계산합니다. 화면의 포화도 바가 각 반주기의 포화 정도를 보여줍니다.
온도 윈도우 점검은 자동으로 수행됩니다. 서셉터 온도가 ALD 윈도우 아래이면 공반응물 응축 위험을, 윈도우 위이면 전구체 분해에 의한 기상 성장을 경고합니다. 윈도우 안에 있으면 '안정 ALD 영역'으로 표시됩니다.
포화도가 낮거나 온도 판정이 불리한 경우 클릭 가능한 수정 제안이 나타납니다 — 예를 들어 펄스 연장 또는 캐리어 유량 감소 등입니다. 화면에 표시되는 신뢰도 수치는 「(데모)」로 표기되어 있으므로, 결과는 설계 참고용 추정치로 활용하고 실제 장비에서 반드시 확인하시기 바랍니다.
알고 쓰셔야 할 한계
- 화면에 표시되는 신뢰도는 「데모」로 표기되어 있습니다 — 결과는 설계 참고용 추정치입니다.
- 두께 대 사이클 수 그래프는 제공되지 않습니다. 입력한 단일 사이클 수에 대한 두께만 표시됩니다.
- 메인 결과의 스텝 커버리지 수치는 AR 20:1 고정값입니다. 다른 종횡비를 평가하려면 피처 프로파일 패널을 여십시오.
- 문헌 범위의 계수를 사용하는 물리 모델 기반 예측입니다. 중요한 값은 실제 장비에서 확인하시기 바랍니다.
자주 묻는 질문
- ALD 두께 예측의 정확도는 어느 정도인가요?
- 발표된 데이터를 기반으로 한 물리 기반 포화도·온도 윈도우 로직을 사용합니다. 화면에 신뢰도 수치가 표시되지만 데모 모델로 표기되어 있으므로, 설계 참고용으로 활용하고 실제 장비에서 검증하시기 바랍니다.
- PE-ALD 박막도 예측할 수 있나요?
- 예. 가스 선택에서 플라즈마 공반응물을 선택하면 RF 플라즈마 파워 입력(50~1000 W)이 펄스·퍼지 설정 옆에 나타납니다. GPC, 두께, 균일도, 포화도 등 동일한 출력을 플라즈마 공정 기준으로 제공합니다.
- 계정 없이도 ALD 예측을 사용할 수 있나요?
- 예. 비회원도 공정 설계 탭에서 계정 없이 예측을 실행할 수 있습니다. 로그인 회원은 가입 시 무료 크레딧을 받으며, 1회 예측 실행에 10크레딧을 사용합니다.